各種半導体装置用(PVD,CVD等)ヒーターの新品、中古販売を行っています。 ヒーターコイル絶縁不良、ベローズリーク等の理由で使用不可能になった
ヒーターの補修再生業務も行っております。ベローズの交換はもちろん ヒーター内部の部品を点検、交換。使用可能な部品は最大限再使用 することによりメンテナンスコストに貢献します。
弊社では半導体製造装置に使用されるヒーターの補修・リビルド (Refurbishment) サービスを行っております。過酷な条件下で使用されたヒーターは内外部ともに傷み、本来は新品の購入によるASSEMBLY交換が必須となっておりました。
当社の他に類を見ない優れた補修技術により、再使用可能な部品を最大限に活用し、大幅にメインテナンスコストを削減する事が可能になります。 また、劣化がひどく修復不可能なヒーターに関しましては新規品としての提供も行います。
( 一部ヒーターを除く ）
